- カテゴリー
- その他
- 機器の名称
- マルチ蒸着システム拡張用真空一貫光電特性評価装置
- メーカー
- （株）エイコー
- 取得年月日
- 2013/02/28
- 機器の状態
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- 完動
- 機器の状態の詳細
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クリーンルーム設置のため良好
少なくとも直近3年本体の利用無し
- 学外への譲渡の可否
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- 可
- 特記事項
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【装置仕様】真空一貫光電特性評価装置の主な構成要素
プローブ評価チャンバー（Φ560×400前扉式）SUS304 到達圧力10^-5Pa台
マスク機構（1枚 手動）
プローブ機構（自動 Z軸駆動）
搬送チャンバー（Φ252×1500）
ソーラーシミュレータシステム 300-1200nm Xeランプ300W
- 機器画像
（様式問わず） -
