- カテゴリー
- 工作機器
- 機器の名称
- ナノインプリント装置
- メーカー
- 明昌機工
- 型番
- NM-0401-HB
- 取得年月日
- 2016/03/07
- 機器の状態
-
- 完動
- 機器の状態の詳細
- 2018年6月にメーカー点検を受けています。利用頻度が低く、クリーンルーム内設置の為、経年劣化は極めて 低い状態。再立ち上げ作業（SRAMバックアップ電池交換、プログラム再インストール）を行う場合、7万円程度かかります。設置場所：P3-517 クリーンルーム
- 学外への譲渡の可否
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- 可
- 特記事項
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【装置仕様】
基板形状：100×100mm² 以下
温度調整範囲：20 〜 300 °C
冷却能力：2k W（液温20℃時）
加熱能力：2k W
加圧能力：0 〜 50k N
紫外線照射照度：10 mW/cm²
到達真空度：1000 Pa
- 機器画像
（様式問わず） -
