- カテゴリー
- 計測機器
- 機器の名称
- レーザー干渉計システム
- メーカー
- ZYGO
- 型番
- VerifireXPZ4インチ
- 取得年月日
- 2012/12/01
- 機器の状態
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- 完動
- 機器の状態の詳細
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直近3年間は利用者無し
2020年2月28日 メーカー点検を受けています（検査証明あり）
- 学外への譲渡の可否
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- 不可
- 特記事項
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【装置仕様】
タイプ：フィゾー型
計測方法：移送シフト干渉法（PSI）
光源：He-Neレーザー クラスIIIa
標準測定口径：4インチ（102ｍｍ）
ズームレンジ:電動1x~6x（連続ズーム）
ＣＣＤ画素数：640x480
光軸高さ：4.25インチ（108mm）
アライメント機構：ツインスポットレチクルによるQFAS
アライメント視野角：±３°（4インチ本体）
フォーカス範囲：±2.5m
データ取得時間：173ms
- 機器画像
（様式問わず） -
