- カテゴリー
- その他
- 機器の名称
- 真空一貫マルチ蒸着システム（前処理+蒸着）+マルチ蒸着システム拡張用真空一貫光電特性評価装置（評価）
- メーカー
- （株）エイコー
- 取得年月日
- 2011/05/10
- 機器の状態
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- 完動
- 機器の状態の詳細
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クリーンルーム内設置のため良好
少なくとも直近3年本体の利用無し
グローブボックスのみ数回使用
- 学外への譲渡の可否
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- 可
- 特記事項
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【全体構成】
前処理ユニット、蒸着ユニット、評価ユニット
それぞれが搬送チャンバーで連結されている
【ユニットごとの構成要素】
前処理ユニット：グローブボックス他
蒸着ユニット：有機蒸着チャンバー WEBガン他（受付番号33参照）
評価ユニット：プローブ評価チャンバー ソーラーシミュレータ他（受付番号34参照）
その他、搬送チャンバー、ロードロック室等、ユニット単位での引取りも可能
- 機器画像
（様式問わず） -
