- カテゴリー
- その他
- 機器の名称
- 真空一貫マルチ蒸着システム-有機蒸着室
- メーカー
- （株）エイコー
- 取得年月日
- 2011/05/10
- 機器の状態
-
- 完動
- 機器の状態の詳細
-
クリーンルーム設置のため良好
少なくとも直近3年本体の利用無し
- 学外への譲渡の可否
-
- 可
- 特記事項
-
【装置仕様】真空一貫蒸着システムの蒸着ユニットの主な構成要素
①有機蒸着チャンバー（Φ450×600 前扉式）SUS304 到達圧力10^-5 Pa
②3KWEBガン（手動シャッター 水冷ジャケット付）加速電圧6kV エミッション0-500mA フィラメント0-15A
③EBガン制御電源 MY-5330
④膜厚制御器 CRTM-9000Gオシレータ
⑤膜厚センサー
その他 搬送チャンバー、ロードロックチャンバー、排気コントローラー等
- 機器画像
（様式問わず） -
